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工信部推廣國產(chǎn)氟化氬光刻機(jī) 核心技術(shù)新突破

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2024-09-15 09:01:05  觀察者網(wǎng)

近期，工業(yè)和信息化部發(fā)布了《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》,。這一目錄聚焦于國家重器——重大技術(shù)裝備,，它們對國家的綜合國力與安全具有深遠(yuǎn)影響。所謂首臺（套）重大技術(shù)裝備,，特指那些在國內(nèi)實現(xiàn)技術(shù)飛躍,、具備自主知識產(chǎn)權(quán)但市場業(yè)績尚未顯現(xiàn)的裝備產(chǎn)品，涵蓋整機(jī),、核心系統(tǒng)及關(guān)鍵零部件等多個層面,。

在該目錄的電子專用裝備部分，特別提到了集成電路設(shè)備的進(jìn)展,，例如氟化氬光刻機(jī),。這款設(shè)備采用193納米光源，其分辨率已達(dá)到65納米以下,，套刻精度更是控制在8納米以內(nèi),。這一信息透露出我國在高端制造領(lǐng)域的最新技術(shù)動態(tài)。

此目錄的公布,，不僅展示了我國在重大技術(shù)裝備自主研發(fā)方面的最新成果,，也標(biāo)志著對相關(guān)產(chǎn)業(yè)未來的推廣與應(yīng)用寄予厚望，旨在推動產(chǎn)業(yè)升級和技術(shù)進(jìn)步,。

(責(zé)任編輯：張小花 TT1000)
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