核心技術(shù)被雪藏，國(guó)內(nèi)需求受制于人

浙江晶盛機(jī)電股份有限公司是我國(guó)電子制造業(yè)追逐“全局平坦化”的開(kāi)路先鋒之一,，公司多年從事拋光工藝研發(fā)的技術(shù)主管孫明告訴記者：“如果把拋光工藝比作做煎餅,，卡我們脖子的就是鍋，別人的鍋不粘鍋底,，而我們做不到,。”

孫明所說(shuō)的“鍋”就是拋光機(jī)的核心器件——“磨盤(pán)”,。超精密拋光對(duì)拋光機(jī)中磨盤(pán)的材料構(gòu)成和技術(shù)要求近乎苛刻,，這種由特殊材料合成的鋼盤(pán)，不僅要滿足自動(dòng)化操作的納米級(jí)精密度,，更要具備精確的熱膨脹系數(shù)。

當(dāng)拋光機(jī)處在高速運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時(shí),，如果熱膨脹作用導(dǎo)致磨盤(pán)的熱變形,，基片的平面度和平行度就無(wú)法保證。而這種不能被允許發(fā)生的熱變形誤差不是幾毫米或幾微米,，而是幾納米,。

目前，美國(guó)日本等國(guó)際頂級(jí)的拋光工藝已經(jīng)可以滿足60英寸基片原材料的精密拋光要求（屬超大尺寸）,，他們據(jù)此掌控著超精密拋光工藝的核心技術(shù),，牢牢把握了全球市場(chǎng)的主動(dòng)權(quán)。而事實(shí)上,，把握住這項(xiàng)技術(shù),，也就在很大程度上掌控了電子制造業(yè)的發(fā)展。

孫明介紹,，日本產(chǎn)拋光機(jī)的研磨盤(pán)均為定制,，不進(jìn)行批量生產(chǎn)，直接限制了他國(guó)仿制,；王奇也告訴記者,，美國(guó)的拋光設(shè)備銷(xiāo)往中國(guó)，價(jià)格一般都在1000萬(wàn)元以上，而且銷(xiāo)售訂單已經(jīng)排至2019年年底,，此前不接受任何訂單,。

“面對(duì)如此嚴(yán)密的技術(shù)封鎖，我們很急,，春秋時(shí)期,，魯班為人類(lèi)發(fā)明石磨助力了農(nóng)耕文明，如今我們的電子工業(yè)進(jìn)步卻再次被一種磨盤(pán)卡住了脖子,。但是再急,，目前我們還得等，要么等進(jìn)口,，要么自主研發(fā),。”王奇說(shuō),。

　　登頂技術(shù)巔峰,，求人不如求己

其實(shí)在超精密拋光領(lǐng)域內(nèi)，中國(guó)并非毫無(wú)建樹(shù),。作為一套技術(shù)要求極高的合成工藝,，超精密化學(xué)機(jī)械拋光工藝精必須由設(shè)備和材料（拋光液）組成，二者缺一不可,。