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中科院研發(fā)出全固態(tài)DUV光源技術(shù) 打破光刻機(jī)傳統(tǒng)思路(2)

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2025-03-29 00:08:37  硬核熊貓說

中科院研發(fā)出全固態(tài)DUV光源技術(shù) 打破光刻機(jī)傳統(tǒng)思路

首先,，固態(tài)DUV光源技術(shù)可以在7nm甚至3nm芯片制造上發(fā)揮作用，這意味著不需要購買EUV光刻機(jī)也能制造先進(jìn)芯片,。其次,，這項技術(shù)繞開了美國企業(yè)的專利群,，因為其設(shè)計和材料都發(fā)生了巨大變化,。最后，固態(tài)光源技術(shù)使光刻機(jī)結(jié)構(gòu)更簡單,，體積可以縮小30%以上,，降低了能耗。

中科院研發(fā)出全固態(tài)DUV光源技術(shù) 打破光刻機(jī)傳統(tǒng)思路

盡管這項技術(shù)還在實驗室階段,，許多細(xì)節(jié)需要完善,，但其潛力不容忽視。即使未來不能完全落地,，不斷嘗試新的光源技術(shù)也終將突破現(xiàn)有的技術(shù)限制,。這也正是ASML最擔(dān)心的地方。

中科院研發(fā)出全固態(tài)DUV光源技術(shù) 打破光刻機(jī)傳統(tǒng)思路

(責(zé)任編輯：盧其龍 CN070)
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