在項目負責(zé)人,、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所研究員張學(xué)軍的帶領(lǐng)下,項目研發(fā)團隊歷經(jīng)九年技術(shù)攻關(guān),,完成了碳化硅鏡坯制備,、非球面加工檢測、碳化硅表面改性鍍膜的制造設(shè)備研制與制造工藝研究,,形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的4米量級高精度碳化硅非球面集成制造平臺,,完成了4米量級高精度碳化硅非球面產(chǎn)品的研制。
張學(xué)軍介紹,,大口徑高精度碳化硅非球面反射鏡制造主要關(guān)鍵技術(shù)瓶頸在于碳化硅材料制備,、非球面加工檢測和高性能改性鍍膜三個方面。在碳化硅材料制備技術(shù)方面,,研發(fā)團隊掌握了多項鏡坯制備關(guān)鍵技術(shù),建立了大口徑碳化硅鏡坯制造平臺,,并先后研制成功2米,、3米單體碳化硅鏡坯,4米口徑整體碳化硅鏡坯,,實現(xiàn)了我國大口徑碳化硅光學(xué)材料自主可控,。在大口徑碳化硅非球面加工檢測技術(shù)方面,研發(fā)團隊在國內(nèi)首次研制成功適用的非球面數(shù)控加工中心,,創(chuàng)造性地提出一體化加工設(shè)備方案,,完成了4米量級碳化硅非球面高精度加工,加工精度優(yōu)于16納米,,全面實現(xiàn)4米量級碳化硅高精度加工與檢測技術(shù)自主可控,。在大口徑碳化硅改性鍍膜技術(shù)方面,研發(fā)團隊在國際上首次研制成功SiC反射鏡改性與反射膜鍍制一體化設(shè)備,,首次應(yīng)用磁控濺射技術(shù)完成4米量級碳化硅表面改性,,滿足高質(zhì)量光學(xué)表面的拋光需求,實現(xiàn)4米碳化硅反射鏡表面高反射率薄膜鍍制,,可見至長波紅外全譜段反射率優(yōu)于95%,。
據(jù)介紹,基于本項目研制完成的1.5米和2米量級碳化硅非球面反射鏡已成功應(yīng)用于國家重大型號任務(wù)中,。未來,,4米量級碳化硅非球面反射鏡也將應(yīng)用于國家地基大型光電系統(tǒng),,為大口徑光學(xué)系統(tǒng)的研制解決核心技術(shù)難題。
《光明日報》(2018年08月23日08版)