亟待攻克的核心技術(shù)

編者按 近年來，中國科技正帶著澎湃動力向前奔跑,，并逐漸進(jìn)入到跟跑,、并跑、領(lǐng)跑“三跑并存”的階段,。但我們在充滿信心的同時,，還應(yīng)更加清醒和理性。與發(fā)達(dá)國家相比,，我國不少領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人,，亟待集中力量奮力攻關(guān)。

真正的核心技術(shù)靠化緣是要不來的,。我們還有多少亟待攻克的關(guān)鍵核心技術(shù),，差距在哪，需要從哪些方面突破,？本報從今天起，開辟“亟待攻克的核心技術(shù)”專欄,，就此進(jìn)行梳理,、解讀和評析。

指甲蓋大小的芯片,，密布千萬電線,，紋絲不亂，需要極端精準(zhǔn)的照相機——光刻機,。光刻機精度,，決定了芯片的上限。高精度光刻機產(chǎn)自ASML,、尼康和佳能三家,；頂級光刻機由ASML壟斷。

“十二五”科技成就展覽上,，上海微電子裝備公司（SMEE）生產(chǎn)的中國最好的光刻機,，與中國的大飛機、登月車并列,。它的加工精度是90納米,，相當(dāng)于2004年上市的奔騰四CPU的水準(zhǔn)。國外已經(jīng)做到了十幾納米,。

　　祖?zhèn)鞯哪ョR手藝

光刻機跟照相機差不多,，它的底片，是涂滿光敏膠的硅片,。電路圖案經(jīng)光刻機,，縮微投射到底片，蝕刻掉一部分膠，露出硅面做化學(xué)處理,。制造芯片,，要重復(fù)幾十遍這個過程。

位于光刻機中心的鏡頭,，由20多塊鍋底大的鏡片串聯(lián)組成,。鏡片得高純度透光材料+高質(zhì)量拋光。SMEE光刻機使用的鏡片,，得數(shù)萬美元一塊,。

ASML的鏡片是蔡司技術(shù)打底。鏡片材質(zhì)做到均勻,，需幾十年到上百年技術(shù)積淀,。

“同樣一個鏡片，不同工人去磨,，光潔度相差十倍,。”SMEE總經(jīng)理賀榮明說,，他在德國看到,，拋光鏡片的工人，祖孫三代在同一家公司的同一個職位,。