另外,，光刻機需要體積小，但功率高而穩(wěn)定的光源,。ASML的頂尖光刻機,，使用波長短的極紫外光，光學系統(tǒng)極復雜,。

　　3萬個機械件都要可靠

有頂級的鏡頭和光源,，沒極致的機械精度，也是白搭,。光刻機里有兩個同步運動的工件臺,，一個載底片，一個載膠片,。兩者需始終同步,，誤差在2納米以下。兩個工作臺由靜到動,，加速度跟導彈發(fā)射差不多,。

賀榮明說：“相當于兩架大飛機從起飛到降落，始終齊頭并進,。一架飛機上伸出一把刀,，在另一架飛機的米粒上刻字，不能刻壞了,?！?/p>

而且，溫濕度和空氣壓力變化會影響對焦,?！皺C器內(nèi)部溫度的變化要控制在千分之五度，得有合適的冷卻方法,，精準的測溫傳感器,。”賀榮明說,。

SMEE最好的光刻機,，包含13個分系統(tǒng),，3萬個機械件，200多個傳感器,，每一個都要穩(wěn)定,。像歐洲冠軍杯決賽，任何一個人發(fā)揮失常就要輸球,。

　　圖紙不是關(guān)鍵

2002年SMEE成立,，是中國政府為了填補光刻機空白而立項。賀榮明去德國考察時,，有工程師告訴他：“給你們?nèi)讏D紙,，也做不出來?！辟R榮明幾年后理解了這句話,。

并不是說圖紙不重要，賀榮明說,，如何將系統(tǒng)的誤差分配到子系統(tǒng),，設計有高下之分。但頂級光刻機也需要細節(jié)上的技術(shù)潔癖,?！耙桓饫w，一行軟件編碼,，一個小動作,，如果不兢兢業(yè)業(yè)做好，整個系統(tǒng)就不優(yōu)秀,?！辟R榮明說。

“發(fā)展光刻機,，需要高素質(zhì)的人群,。所以我們做來做去，做最多的是培養(yǎng)人,，改變?nèi)?。”賀榮明說,，這需要他們用五十年一百年的長遠眼光去做事情,，而不是期望幾個月解決問題。

如今SMEE每年增加數(shù)百項專利,，活得很好,，以中低端市場支持高端研發(fā)。而國際巨頭仍在前進，發(fā)展浸沒式光刻機（光在水中波長更短）,、磁懸浮驅(qū)動（減少工作面震動）,、反射鏡代替透鏡技術(shù)、真空腔體的極紫外光學系統(tǒng)……（高博）