另外,，光刻機(jī)需要體積小，但功率高而穩(wěn)定的光源,。ASML的頂尖光刻機(jī),，使用波長(zhǎng)短的極紫外光，光學(xué)系統(tǒng)極復(fù)雜,。

　　3萬個(gè)機(jī)械件都要可靠

有頂級(jí)的鏡頭和光源,，沒極致的機(jī)械精度，也是白搭,。光刻機(jī)里有兩個(gè)同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái),，一個(gè)載底片，一個(gè)載膠片,。兩者需始終同步,，誤差在2納米以下。兩個(gè)工作臺(tái)由靜到動(dòng),，加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多,。

賀榮明說：“相當(dāng)于兩架大飛機(jī)從起飛到降落，始終齊頭并進(jìn),。一架飛機(jī)上伸出一把刀,，在另一架飛機(jī)的米粒上刻字，不能刻壞了,?！?/p>

而且，溫濕度和空氣壓力變化會(huì)影響對(duì)焦,?！皺C(jī)器內(nèi)部溫度的變化要控制在千分之五度，得有合適的冷卻方法,，精準(zhǔn)的測(cè)溫傳感器,?！辟R榮明說。

SMEE最好的光刻機(jī),，包含13個(gè)分系統(tǒng),，3萬個(gè)機(jī)械件，200多個(gè)傳感器,，每一個(gè)都要穩(wěn)定,。像歐洲冠軍杯決賽，任何一個(gè)人發(fā)揮失常就要輸球,。

　　圖紙不是關(guān)鍵

2002年SMEE成立,，是中國(guó)政府為了填補(bǔ)光刻機(jī)空白而立項(xiàng)。賀榮明去德國(guó)考察時(shí),，有工程師告訴他：“給你們?nèi)讏D紙,，也做不出來?！辟R榮明幾年后理解了這句話,。

并不是說圖紙不重要，賀榮明說,，如何將系統(tǒng)的誤差分配到子系統(tǒng),，設(shè)計(jì)有高下之分。但頂級(jí)光刻機(jī)也需要細(xì)節(jié)上的技術(shù)潔癖,?！耙桓饫w，一行軟件編碼,，一個(gè)小動(dòng)作,，如果不兢兢業(yè)業(yè)做好，整個(gè)系統(tǒng)就不優(yōu)秀,?！辟R榮明說。

“發(fā)展光刻機(jī),，需要高素質(zhì)的人群,。所以我們做來做去，做最多的是培養(yǎng)人,，改變?nèi)?。”賀榮明說,，這需要他們用五十年一百年的長(zhǎng)遠(yuǎn)眼光去做事情，而不是期望幾個(gè)月解決問題,。

如今SMEE每年增加數(shù)百項(xiàng)專利,，活得很好,，以中低端市場(chǎng)支持高端研發(fā)。而國(guó)際巨頭仍在前進(jìn),，發(fā)展浸沒式光刻機(jī)（光在水中波長(zhǎng)更短）,、磁懸浮驅(qū)動(dòng)（減少工作面震動(dòng)）、反射鏡代替透鏡技術(shù),、真空腔體的極紫外光學(xué)系統(tǒng)……（高博）