集成電路的先進工藝生產(chǎn)線布局加快,。據(jù)了解,目前我國已投產(chǎn)12英寸生產(chǎn)線9條,總產(chǎn)能達到46.3萬片/月,。在建12英寸生產(chǎn)線13條,新建產(chǎn)能62萬片/月,其中22/20納米生產(chǎn)線1條,16/14納米生產(chǎn)線3條,。長江存儲,、合肥睿力、福建晉華三家企業(yè)已開始進入存儲領域,于2018年底投產(chǎn),。國內生產(chǎn)線的建設有效帶動了國產(chǎn)設備和材料等配套產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,刻蝕機、離子注入等超過30種高端裝備實現(xiàn)批量應用,靶材,、電鍍液等上百種關鍵材料均已成功驗證,并形成銷售,。

“通過堅持開放發(fā)展,我國集成電路封裝測試業(yè)已接近國際先進水平,本土企業(yè)的規(guī)模顯著提升,企業(yè)全球化進程進一步加快?！睋?jù)上述負責人舉例說,目前,長電科技收購了星科金朋,并購完成后營收規(guī)模從全球第五躍居全球第三,產(chǎn)品線也正式走向國際先進工藝陣列,封測工廠由中國大陸拓展至新加坡和韓國等地,。通富微電收購了蘇州AMD和馬來西亞檳城AMD各85%股權,這一戰(zhàn)略布局使得通富微電在全球封測公司的排名將會進入世界前六位,躋身世界一流封測公司的行列。

此外,集成電路國產(chǎn)裝備在產(chǎn)業(yè)鏈前道,、后道及零部件三個方面同時發(fā)力,。前道國產(chǎn)裝備已實現(xiàn)從無到有的突破,部分關鍵設備達到32/28納米、16/14納米水平。其中,中微半導體開發(fā)的介質刻蝕機,在韓國通過了16納米部分關鍵工藝認證并投入批量生產(chǎn),已加工16納米晶圓片超過40萬片,。北方微電子28納米STI高密度等離子刻蝕機,目前已完成中芯國際的生產(chǎn)線全流程測試,并已對中芯國際實現(xiàn)銷售,。上海盛美清洗機銷售韓國海力士、上海睿勵28納米光學尺寸測量裝備進入三星生產(chǎn)線驗證,。

集成電路制造用材料產(chǎn)業(yè)技術也取得群體性突破,。據(jù)介紹,當前8-12英寸生產(chǎn)線用材料批量采購國產(chǎn)產(chǎn)品超過50種,部分品種材料進入國際采購體系,我國高端集成電路生產(chǎn)用材料全面依賴進口的局面有所扭轉。