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ASML控股申請光刻設(shè)備專利 新技術(shù)提升精度

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2024-12-10 07:56:30  金融界

2024年12月9日，國家知識產(chǎn)權(quán)局公開了一項由ASML控股股份有限公司申請的專利,，名為“光刻設(shè)備,、襯底臺和不均勻涂層方法”,，公開號為CN 119087748 A,，申請日期為2020年4月,。

該專利描述了一種光刻設(shè)備，包括照射系統(tǒng)、支撐件,、投影系統(tǒng)以及襯底臺。襯底臺包含一個臺座,，其表面覆蓋有一層不均勻厚度的涂層,。這種涂層的設(shè)計使得臺座相對于名義平坦度的偏轉(zhuǎn)成為由涂層引起的應(yīng)力函數(shù)。涂層的橫截面輪廓根據(jù)應(yīng)力和不均勻厚度進(jìn)行調(diào)整,，確保涂層表面保持實質(zhì)上的平坦,，并在襯底臺支撐襯底時與之接觸。

(責(zé)任編輯：張小花 TT1000)
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