5月27日,，半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司在上海臨港召開(kāi)了2024年度及2025年第一季度業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)，并在會(huì)后舉行了媒體見(jiàn)面會(huì),。中微公司2024年LPCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)首臺(tái)銷(xiāo)售，在研項(xiàng)目還包括PECVD和ALD設(shè)備研發(fā)。長(zhǎng)期以來(lái)，中微公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)以等離子體刻蝕機(jī)為代表，薄膜設(shè)備則主要集中在泛半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備上,。

關(guān)于中微公司薄膜沉積設(shè)備業(yè)務(wù)的成長(zhǎng)性，董事長(zhǎng)尹志堯表示,，目前薄膜設(shè)備相關(guān)的收入體量還不大，但公司已經(jīng)在全面布局并加速開(kāi)發(fā)更多產(chǎn)品,，預(yù)計(jì)三到五年內(nèi)薄膜設(shè)備收入將快速增長(zhǎng),。

半導(dǎo)體前道設(shè)備中，刻蝕和薄膜設(shè)備市場(chǎng)僅次于光刻設(shè)備,。中微公司已是國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭,，同時(shí)也在積極拓展薄膜設(shè)備業(yè)務(wù)。尹志堯在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上介紹了薄膜沉積設(shè)備,，表示公司正在不斷開(kāi)發(fā)多種薄膜沉積設(shè)備,，擴(kuò)大產(chǎn)品覆蓋度。根據(jù)2024年年報(bào),，中微公司LPCVD實(shí)現(xiàn)首臺(tái)銷(xiāo)售,，全年設(shè)備銷(xiāo)售額約1.56億元。尹志堯強(qiáng)調(diào),，中微公司開(kāi)發(fā)的LPCVD設(shè)備具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),，不會(huì)抄襲外國(guó)設(shè)備。

薄膜沉積設(shè)備分為L(zhǎng)PCVD,、PECVD,、ALD,、PVD、EPI,、爐管CVD和鍍銅等多種類型,。2022年，PECVD市場(chǎng)規(guī)模占總薄膜市場(chǎng)規(guī)模比例為32%,，PVD,、ALD、LPCVD,、EPI,、爐管CVD和鍍銅占比分別為22%、14%,、8%,、8%、8%和5%,。尹志堯介紹,，中微公司從MOCVD切入，近幾年集中力量開(kāi)發(fā)了LPCVD,，然后做EPI,，慢慢進(jìn)入ALD。現(xiàn)在已經(jīng)開(kāi)始做大規(guī)模集成的設(shè)備,，包括PVD,、ALD和LPCVD，也在開(kāi)發(fā)新一代等離子體源的PECVD設(shè)備,。

據(jù)2024年年報(bào),，中微公司近兩年新開(kāi)發(fā)的LPCVD薄膜設(shè)備和ALD薄膜設(shè)備已有多款新型設(shè)備順利進(jìn)入市場(chǎng)并獲得重要客戶的重復(fù)性訂單。其中,，LPCVD薄膜設(shè)備累計(jì)出貨量已突破150個(gè)反應(yīng)臺(tái),，其他多個(gè)關(guān)鍵薄膜沉積設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目的研發(fā)進(jìn)程均比較順利，有望盡快進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段,。公司EPI設(shè)備已進(jìn)入客戶端量產(chǎn)驗(yàn)證階段,。

尹志堯還介紹了其刻蝕機(jī)發(fā)展情況?？涛g設(shè)備主要分為CCP和ICP兩類,。近年來(lái)，中微公司ICP設(shè)備取得了高速增長(zhǎng),。2023年新增訂單為21.68億元,，同比增長(zhǎng)139.3%；2024年新增訂單為41.08億元,，同比增長(zhǎng)89.5%,。尹志堯表示,，過(guò)去需要3到5年開(kāi)發(fā)一個(gè)新產(chǎn)品，進(jìn)入市場(chǎng)則需要更長(zhǎng)時(shí)間?，F(xiàn)在只需要約18個(gè)月就可以開(kāi)發(fā)一個(gè)新產(chǎn)品,，進(jìn)入市場(chǎng)半年到一年就可以量產(chǎn)。

在問(wèn)答環(huán)節(jié),，有投資者問(wèn)及中微公司薄膜與刻蝕之間研發(fā)投入的分配比例,。尹志堯表示，過(guò)去20年,，中微公司大部分研發(fā)投入在刻蝕上,，刻蝕占研發(fā)比例長(zhǎng)期保持在70%左右，最高甚至超過(guò)75%,。最近幾年,，越來(lái)越多的資金投入到薄膜設(shè)備的研發(fā)上，因此也期待薄膜設(shè)備的收入體量快速增長(zhǎng),。

展望未來(lái),，尹志堯表示，五到十年內(nèi),，中微公司已經(jīng)做好了布局,，不斷擴(kuò)大覆蓋面，覆蓋包括刻蝕,、薄膜和量檢測(cè)設(shè)備,，以及部分濕法設(shè)備，希望成為平臺(tái)式集團(tuán)公司,。