原標(biāo)題：集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肟燔嚨?自主創(chuàng)新托起“中國芯”

龐大信息社會的根基是一枚枚小巧的集成電路，通常被人們稱為“芯片”,。別看芯片“身材小”,，他們“喂養(yǎng)”著現(xiàn)代工業(yè)，手機,、電腦,、家電、高鐵,、電動車,、機器人、醫(yī)療儀器等離開他們根本無法運轉(zhuǎn),。

“芯片強則產(chǎn)業(yè)強,，芯片興則經(jīng)濟興，沒有芯片就沒有安全,?！笨萍疾恐卮髮ｍ椶k公室主任陳傳宏說，芯片（集成電路）制造技術(shù)是當(dāng)今世界最高水平微細(xì)加工技術(shù),，是全球高科技國力競爭的戰(zhàn)略必爭制高點,。

2008年,，我國啟動實施“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱集成電路裝備專項）。9年來,，集成電路高端制造裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白,，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肓俗灾鲃?chuàng)新發(fā)展的快車道,。

關(guān)鍵裝備實現(xiàn)從無到有

集成電路裝備專項實施以來,，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了從無到有、由弱漸強的巨大變化

“每當(dāng)集成電路技術(shù)進(jìn)步一代,，尺寸就縮小三分之一,，對應(yīng)整個集成度提高4倍?！奔呻娐费b備專項技術(shù)總師,、中科院微電子研究所所長葉甜春說：“以28納米技術(shù)為例，集成度相當(dāng)于在指甲蓋大小的面積上制造出10億個以上的晶體管,，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的三千分之一,。更為先進(jìn)的14納米技術(shù)，則相當(dāng)于在人體頭發(fā)絲截面上制造出50萬個以上的晶體管,，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的五千分之一,。”

如此精細(xì)操作堪比在“針尖上跳舞”,，對裝備,、材料、工藝都是極大的考驗,，由于涉及高技術(shù)含量,，制造集成電路的裝備價格是一般裝備價格的10倍到100倍。長期以來,，在集成電路高端裝備上我國長期受制于人,，因為沒有工藝節(jié)點達(dá)到90納米、65納米以下的國內(nèi)自主研發(fā)集成電路裝備,，只能采用國外的設(shè)備,。

西方發(fā)達(dá)國家一直對出口到中國的集成電路制造裝備和材料以及工藝技術(shù)嚴(yán)格審查和限制。這對我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)成了嚴(yán)重制約,，問題日益凸顯,。與此同時，隨著我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展尤其是信息化進(jìn)程的加快,，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長,，從2006年開始，集成電路產(chǎn)品超過石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品，2013年至今,，每年進(jìn)口額超過2000億美元,。