張伯旭告訴記者,，為了更好地解決科技成果產(chǎn)品化的問題,，集成電路裝備專項(xiàng)率先提出了“應(yīng)用考核技術(shù),，整機(jī)考核部件,，下游考核上游,，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的用戶考核機(jī)制,。通過用戶和市場(chǎng)的考核驗(yàn)證,，保證專項(xiàng)成果成為經(jīng)過嚴(yán)格的市場(chǎng)與用戶考驗(yàn),、真正可以應(yīng)用的產(chǎn)品,，解決了科技成果檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)和驗(yàn)證機(jī)制的難題,，從而使專項(xiàng)研發(fā)的裝備、材料,、零部件和工藝實(shí)現(xiàn)從技術(shù)創(chuàng)新到成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用的艱難跨越,。據(jù)了解，專項(xiàng)成果的銷售業(yè)績(jī)累計(jì)1800億元,。

產(chǎn)學(xué)研用緊密結(jié)合也是集成電路裝備專項(xiàng)實(shí)施中的一大亮點(diǎn),。專項(xiàng)通過構(gòu)建光刻設(shè)備和封測(cè)等產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，集合產(chǎn)業(yè)鏈上制造工藝,、裝備,、相關(guān)零部件和材料等上下游企業(yè),、相關(guān)研究機(jī)構(gòu)和高等院校達(dá)200多家單位共同開展產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同攻關(guān)。中芯國(guó)際是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大,、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路晶圓代工企業(yè),，通過專項(xiàng)整體布局，中芯國(guó)際先后為20余家設(shè)計(jì)單位提供65-45-28納米產(chǎn)品開發(fā)支持,。2016年國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)公司營(yíng)銷收入占中芯國(guó)際總營(yíng)銷收入近50%,。

隨著自主創(chuàng)新體系的日趨完善、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新能力的大幅提高,，集成電路裝備專項(xiàng)主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn),，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，推動(dòng)成果產(chǎn)業(yè)化,，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模,，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

成果應(yīng)用帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)提升

通過利用集成電路裝備技術(shù),，泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國(guó)產(chǎn)化率大幅提高,，LED照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一

作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的集成電路制造裝備業(yè),，其成果輻射的帶動(dòng)面很廣,。通過利用集成電路裝備技術(shù)，LED照明,、傳感器,、光伏等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國(guó)產(chǎn)化率大幅提高,。尤其是LED照明,、光伏等領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵裝備成套國(guó)產(chǎn)化，國(guó)產(chǎn)裝備成為市場(chǎng)主流,。

葉甜春告訴記者,，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，國(guó)產(chǎn)裝備在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)銷售6590臺(tái),。這些裝備的國(guó)產(chǎn)化使得我國(guó)在LED,、光伏等領(lǐng)域投資成本顯著降低，持續(xù)推動(dòng)我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)整體競(jìng)爭(zhēng)力大幅提升,，LED照明,、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一，技術(shù)水平也實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先,。

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,，通過集成電路裝備專項(xiàng)成果擴(kuò)展應(yīng)用，公司成為L(zhǎng)ED,、光伏等泛半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)際主流供應(yīng)商,，近年來在與本土零部件企業(yè)合作中,，大幅提升了國(guó)產(chǎn)設(shè)備的性價(jià)比，在LED,、光伏等領(lǐng)域全面替代進(jìn)口產(chǎn)品,，不僅增加了客戶效益，也為公司帶來了數(shù)十億元的銷售收入,，相關(guān)設(shè)備批量出口美國(guó),、印度等國(guó)家。

中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),，也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地,。葉甜春表示，面向2020年,，集成電路裝備專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān),，推動(dòng)創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用,，支持中國(guó)企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中建立起核心競(jìng)爭(zhēng)力,，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢(shì),。(經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)中國(guó)經(jīng)濟(jì)網(wǎng)記者 杜 芳)