張伯旭告訴記者,，為了更好地解決科技成果產(chǎn)品化的問題，集成電路裝備專項率先提出了“應(yīng)用考核技術(shù),，整機考核部件,，下游考核上游,，市場考核產(chǎn)品”的用戶考核機制,。通過用戶和市場的考核驗證,，保證專項成果成為經(jīng)過嚴(yán)格的市場與用戶考驗,、真正可以應(yīng)用的產(chǎn)品,，解決了科技成果檢驗標(biāo)準(zhǔn)和驗證機制的難題,，從而使專項研發(fā)的裝備、材料,、零部件和工藝實現(xiàn)從技術(shù)創(chuàng)新到成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用的艱難跨越,。據(jù)了解，專項成果的銷售業(yè)績累計1800億元,。

產(chǎn)學(xué)研用緊密結(jié)合也是集成電路裝備專項實施中的一大亮點,。專項通過構(gòu)建光刻設(shè)備和封測等產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，集合產(chǎn)業(yè)鏈上制造工藝、裝備,、相關(guān)零部件和材料等上下游企業(yè),、相關(guān)研究機構(gòu)和高等院校達(dá)200多家單位共同開展產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同攻關(guān)。中芯國際是國內(nèi)規(guī)模最大,、技術(shù)最先進的集成電路晶圓代工企業(yè),，通過專項整體布局，中芯國際先后為20余家設(shè)計單位提供65-45-28納米產(chǎn)品開發(fā)支持,。2016年國內(nèi)設(shè)計公司營銷收入占中芯國際總營銷收入近50%,。

隨著自主創(chuàng)新體系的日趨完善、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新能力的大幅提高,，集成電路裝備專項主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進,，扶植企業(yè)做大做強，推動成果產(chǎn)業(yè)化,，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模,，提高整體產(chǎn)業(yè)實力。

成果應(yīng)用帶動產(chǎn)業(yè)提升

通過利用集成電路裝備技術(shù),，泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高,，LED照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一

作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的集成電路制造裝備業(yè),，其成果輻射的帶動面很廣。通過利用集成電路裝備技術(shù),，LED照明,、傳感器、光伏等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高,。尤其是LED照明,、光伏等領(lǐng)域已實現(xiàn)關(guān)鍵裝備成套國產(chǎn)化，國產(chǎn)裝備成為市場主流,。

葉甜春告訴記者,，據(jù)不完全統(tǒng)計，國產(chǎn)裝備在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)銷售6590臺,。這些裝備的國產(chǎn)化使得我國在LED,、光伏等領(lǐng)域投資成本顯著降低，持續(xù)推動我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)整體競爭力大幅提升,，LED照明,、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一，技術(shù)水平也實現(xiàn)了國際領(lǐng)先,。

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,，通過集成電路裝備專項成果擴展應(yīng)用，公司成為LED,、光伏等泛半導(dǎo)體設(shè)備國際主流供應(yīng)商,，近年來在與本土零部件企業(yè)合作中,，大幅提升了國產(chǎn)設(shè)備的性價比，在LED,、光伏等領(lǐng)域全面替代進口產(chǎn)品,，不僅增加了客戶效益，也為公司帶來了數(shù)十億元的銷售收入,，相關(guān)設(shè)備批量出口美國,、印度等國家。

中國是全球最大的半導(dǎo)體市場,，也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地,。葉甜春表示，面向2020年,，集成電路裝備專項將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān),，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用,，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中建立起核心競爭力,，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢,。(經(jīng)濟日報中國經(jīng)濟網(wǎng)記者 杜 芳)