實現(xiàn)集成電路領域的自主創(chuàng)新發(fā)展迫在眉睫,。2008年集成電路裝備專項實施以來，200多家企事業(yè)單位,、2萬多名科研人員參與技術攻關,，主要集中在北京、上海,、江蘇,、沈陽、深圳和武漢等6個重點產業(yè)聚集區(qū),。經過廣大科研人員艱苦努力,，我國集成電路制造技術和產業(yè)實現(xiàn)了從無到有、由弱漸強的巨大變化,。

“我們有了自己的刻蝕機等關鍵裝備,，并批量應用在大生產線上；集成電路成套工藝水平提升5代,，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實現(xiàn)量產,，20-14納米工藝研發(fā)取得突破,；后道封裝集成技術成果全面實現(xiàn)量產,，引領全行業(yè)技術水平從低端跨入高端，實現(xiàn)與世界同步,?！比~甜春告訴記者。

這些自主研發(fā)的設備不僅銷往國內市場,，也逐步進入海外市場,。比如，中微半導體設備(上海)有限公司研發(fā)的介質刻蝕設備不僅支持國內芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術代的發(fā)展，而且在國際市場上各個技術節(jié)點水平都可以與世界最先進設備廠商競爭,。目前,，中微公司已有460多個介質刻蝕反應臺在海內外27條生產線上高質量、穩(wěn)定地生產了4000多萬片晶圓,；在臺積電的研發(fā)線上正在開發(fā)和核準5納米刻蝕,。

集成電路是所有產業(yè)中應用材料純度最高的產業(yè)?！拔覀冄兄瞥隽藪伖鈩┖蜑R射靶材等上百種關鍵材料,，并通過大生產線考核進入批量銷售。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產業(yè)鏈體系,，扭轉了之前工藝技術全套引進的被動局面,，為我國集成電路產業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅實基礎?！比~甜春說,。

建立協(xié)同發(fā)展新模式

集成電路裝備專項通過市場機制打通了科技與經濟的連接通道，建立科技,、產業(yè),、金融與區(qū)域經濟有效協(xié)同的新模式

“集成電路裝備專項取得了一系列技術成果，但更重要的成果是,，專項通過積極探索,，推動構建了市場經濟下的新型舉國體制?！睂ｍ棇嵤┕芾磙k公室負責人,、北京市經濟和信息化委員會主任張伯旭說。

張伯旭所說的新型體制是通過市場機制來打通科技與經濟的連接通道,，推動建立以企業(yè)為主體,，高校和科研院所大協(xié)作，科技,、產業(yè),、金融與區(qū)域經濟有效協(xié)同的新模式。

集成電路裝備專項由北京市,、上海市兩個地方政府牽頭組織實施,，這也是唯一一個由地方政府組織實施的重大專項，是我國科技重大專項組織實施模式的一次創(chuàng)新嘗試,。9年來,，北京市政府、上海市政府與中央部委共同強化專項的戰(zhàn)略研究和頂層設計,，在重點區(qū)域合力布局,，引導地方政府投入要素資源,，推動區(qū)域產業(yè)聚集發(fā)展、調整升級,，形成了科技創(chuàng)新與區(qū)域經濟融合協(xié)同發(fā)展的新局面,。