實現(xiàn)集成電路領域的自主創(chuàng)新發(fā)展迫在眉睫,。2008年集成電路裝備專項實施以來,，200多家企事業(yè)單位、2萬多名科研人員參與技術攻關,，主要集中在北京,、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個重點產(chǎn)業(yè)聚集區(qū),。經(jīng)過廣大科研人員艱苦努力，我國集成電路制造技術和產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了從無到有,、由弱漸強的巨大變化,。

“我們有了自己的刻蝕機等關鍵裝備，并批量應用在大生產(chǎn)線上,；集成電路成套工藝水平提升5代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實現(xiàn)量產(chǎn),，20-14納米工藝研發(fā)取得突破,；后道封裝集成技術成果全面實現(xiàn)量產(chǎn)，引領全行業(yè)技術水平從低端跨入高端,，實現(xiàn)與世界同步,。”葉甜春告訴記者,。

這些自主研發(fā)的設備不僅銷往國內(nèi)市場,，也逐步進入海外市場。比如,，中微半導體設備(上海)有限公司研發(fā)的介質(zhì)刻蝕設備不僅支持國內(nèi)芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術代的發(fā)展,，而且在國際市場上各個技術節(jié)點水平都可以與世界最先進設備廠商競爭。目前,，中微公司已有460多個介質(zhì)刻蝕反應臺在海內(nèi)外27條生產(chǎn)線上高質(zhì)量,、穩(wěn)定地生產(chǎn)了4000多萬片晶圓；在臺積電的研發(fā)線上正在開發(fā)和核準5納米刻蝕,。

集成電路是所有產(chǎn)業(yè)中應用材料純度最高的產(chǎn)業(yè),。“我們研制出了拋光劑和濺射靶材等上百種關鍵材料,，并通過大生產(chǎn)線考核進入批量銷售,。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉(zhuǎn)了之前工藝技術全套引進的被動局面,，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅實基礎,。”葉甜春說,。

建立協(xié)同發(fā)展新模式

集成電路裝備專項通過市場機制打通了科技與經(jīng)濟的連接通道,，建立科技、產(chǎn)業(yè),、金融與區(qū)域經(jīng)濟有效協(xié)同的新模式

“集成電路裝備專項取得了一系列技術成果,，但更重要的成果是，專項通過積極探索，推動構(gòu)建了市場經(jīng)濟下的新型舉國體制,?！睂ｍ棇嵤┕芾磙k公室負責人、北京市經(jīng)濟和信息化委員會主任張伯旭說,。

張伯旭所說的新型體制是通過市場機制來打通科技與經(jīng)濟的連接通道,，推動建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大協(xié)作,，科技,、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟有效協(xié)同的新模式,。

集成電路裝備專項由北京市,、上海市兩個地方政府牽頭組織實施，這也是唯一一個由地方政府組織實施的重大專項,，是我國科技重大專項組織實施模式的一次創(chuàng)新嘗試,。9年來，北京市政府,、上海市政府與中央部委共同強化專項的戰(zhàn)略研究和頂層設計,，在重點區(qū)域合力布局，引導地方政府投入要素資源,，推動區(qū)域產(chǎn)業(yè)聚集發(fā)展,、調(diào)整升級，形成了科技創(chuàng)新與區(qū)域經(jīng)濟融合協(xié)同發(fā)展的新局面,。