原標(biāo)題：集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肟燔嚨?自主創(chuàng)新托起“中國芯”

龐大信息社會(huì)的根基是一枚枚小巧的集成電路，通常被人們稱為“芯片”,。別看芯片“身材小”,，他們“喂養(yǎng)”著現(xiàn)代工業(yè)，手機(jī),、電腦,、家電、高鐵,、電動(dòng)車,、機(jī)器人、醫(yī)療儀器等離開他們根本無法運(yùn)轉(zhuǎn),。

“芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng),，芯片興則經(jīng)濟(jì)興,，沒有芯片就沒有安全,。”科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏說,，芯片（集成電路）制造技術(shù)是當(dāng)今世界最高水平微細(xì)加工技術(shù),，是全球高科技國力競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略必爭(zhēng)制高點(diǎn)。

2008年,，我國啟動(dòng)實(shí)施“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)（簡(jiǎn)稱集成電路裝備專項(xiàng)）,。9年來，集成電路高端制造裝備和材料從無到有填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白,，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國際競(jìng)爭(zhēng),，集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肓俗灾鲃?chuàng)新發(fā)展的快車道,。

關(guān)鍵裝備實(shí)現(xiàn)從無到有

集成電路裝備專項(xiàng)實(shí)施以來，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從無到有,、由弱漸強(qiáng)的巨大變化

“每當(dāng)集成電路技術(shù)進(jìn)步一代,，尺寸就縮小三分之一，對(duì)應(yīng)整個(gè)集成度提高4倍,?！奔呻娐费b備專項(xiàng)技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春說：“以28納米技術(shù)為例,，集成度相當(dāng)于在指甲蓋大小的面積上制造出10億個(gè)以上的晶體管,，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的三千分之一。更為先進(jìn)的14納米技術(shù),，則相當(dāng)于在人體頭發(fā)絲截面上制造出50萬個(gè)以上的晶體管,，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的五千分之一?！?/p>

如此精細(xì)操作堪比在“針尖上跳舞”,，對(duì)裝備、材料,、工藝都是極大的考驗(yàn),，由于涉及高技術(shù)含量，制造集成電路的裝備價(jià)格是一般裝備價(jià)格的10倍到100倍,。長期以來,，在集成電路高端裝備上我國長期受制于人，因?yàn)闆]有工藝節(jié)點(diǎn)達(dá)到90納米,、65納米以下的國內(nèi)自主研發(fā)集成電路裝備,，只能采用國外的設(shè)備。

西方發(fā)達(dá)國家一直對(duì)出口到中國的集成電路制造裝備和材料以及工藝技術(shù)嚴(yán)格審查和限制,。這對(duì)我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)成了嚴(yán)重制約,，問題日益凸顯。與此同時(shí),，隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展尤其是信息化進(jìn)程的加快,，對(duì)集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長，從2006年開始,，集成電路產(chǎn)品超過石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品,，2013年至今，每年進(jìn)口額超過2000億美元,。

實(shí)現(xiàn)集成電路領(lǐng)域的自主創(chuàng)新發(fā)展迫在眉睫,。2008年集成電路裝備專項(xiàng)實(shí)施以來，200多家企事業(yè)單位,、2萬多名科研人員參與技術(shù)攻關(guān),，主要集中在北京,、上海、江蘇,、沈陽,、深圳和武漢等6個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。經(jīng)過廣大科研人員艱苦努力,，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從無到有,、由弱漸強(qiáng)的巨大變化。

“我們有了自己的刻蝕機(jī)等關(guān)鍵裝備,，并批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上,；集成電路成套工藝水平提升5代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),，20-14納米工藝研發(fā)取得突破,；后道封裝集成技術(shù)成果全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端,，實(shí)現(xiàn)與世界同步,。”葉甜春告訴記者,。

這些自主研發(fā)的設(shè)備不僅銷往國內(nèi)市場(chǎng),，也逐步進(jìn)入海外市場(chǎng)。比如,，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司研發(fā)的介質(zhì)刻蝕設(shè)備不僅支持國內(nèi)芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術(shù)代的發(fā)展,，而且在國際市場(chǎng)上各個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)水平都可以與世界最先進(jìn)設(shè)備廠商競(jìng)爭(zhēng)。目前,，中微公司已有460多個(gè)介質(zhì)刻蝕反應(yīng)臺(tái)在海內(nèi)外27條生產(chǎn)線上高質(zhì)量,、穩(wěn)定地生產(chǎn)了4000多萬片晶圓；在臺(tái)積電的研發(fā)線上正在開發(fā)和核準(zhǔn)5納米刻蝕,。

集成電路是所有產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用材料純度最高的產(chǎn)業(yè),。“我們研制出了拋光劑和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料,，并通過大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售,。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉(zhuǎn)了之前工藝技術(shù)全套引進(jìn)的被動(dòng)局面,，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),?！比~甜春說,。

建立協(xié)同發(fā)展新模式

集成電路裝備專項(xiàng)通過市場(chǎng)機(jī)制打通了科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，建立科技,、產(chǎn)業(yè),、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式

“集成電路裝備專項(xiàng)取得了一系列技術(shù)成果,，但更重要的成果是，專項(xiàng)通過積極探索,，推動(dòng)構(gòu)建了市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)下的新型舉國體制,。”專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室負(fù)責(zé)人,、北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)主任張伯旭說,。

張伯旭所說的新型體制是通過市場(chǎng)機(jī)制來打通科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，推動(dòng)建立以企業(yè)為主體,，高校和科研院所大協(xié)作,，科技、產(chǎn)業(yè),、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式,。

集成電路裝備專項(xiàng)由北京市、上海市兩個(gè)地方政府牽頭組織實(shí)施,，這也是唯一一個(gè)由地方政府組織實(shí)施的重大專項(xiàng),，是我國科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施模式的一次創(chuàng)新嘗試。9年來,，北京市政府,、上海市政府與中央部委共同強(qiáng)化專項(xiàng)的戰(zhàn)略研究和頂層設(shè)計(jì)，在重點(diǎn)區(qū)域合力布局,，引導(dǎo)地方政府投入要素資源,，推動(dòng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)聚集發(fā)展、調(diào)整升級(jí),，形成了科技創(chuàng)新與區(qū)域經(jīng)濟(jì)融合協(xié)同發(fā)展的新局面,。

張伯旭告訴記者，為了更好地解決科技成果產(chǎn)品化的問題,，集成電路裝備專項(xiàng)率先提出了“應(yīng)用考核技術(shù),，整機(jī)考核部件，下游考核上游,，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的用戶考核機(jī)制,。通過用戶和市場(chǎng)的考核驗(yàn)證，保證專項(xiàng)成果成為經(jīng)過嚴(yán)格的市場(chǎng)與用戶考驗(yàn),、真正可以應(yīng)用的產(chǎn)品,，解決了科技成果檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)和驗(yàn)證機(jī)制的難題，從而使專項(xiàng)研發(fā)的裝備,、材料,、零部件和工藝實(shí)現(xiàn)從技術(shù)創(chuàng)新到成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用的艱難跨越。據(jù)了解，專項(xiàng)成果的銷售業(yè)績累計(jì)1800億元,。

產(chǎn)學(xué)研用緊密結(jié)合也是集成電路裝備專項(xiàng)實(shí)施中的一大亮點(diǎn),。專項(xiàng)通過構(gòu)建光刻設(shè)備和封測(cè)等產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，集合產(chǎn)業(yè)鏈上制造工藝,、裝備,、相關(guān)零部件和材料等上下游企業(yè)、相關(guān)研究機(jī)構(gòu)和高等院校達(dá)200多家單位共同開展產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同攻關(guān),。中芯國際是國內(nèi)規(guī)模最大,、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路晶圓代工企業(yè)，通過專項(xiàng)整體布局,，中芯國際先后為20余家設(shè)計(jì)單位提供65-45-28納米產(chǎn)品開發(fā)支持,。2016年國內(nèi)設(shè)計(jì)公司營銷收入占中芯國際總營銷收入近50%。

隨著自主創(chuàng)新體系的日趨完善,、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新能力的大幅提高,，集成電路裝備專項(xiàng)主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)，扶植企業(yè)做大做強(qiáng),，推動(dòng)成果產(chǎn)業(yè)化,，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力,。

成果應(yīng)用帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)提升

通過利用集成電路裝備技術(shù),，泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高，LED照明,、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一

作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的集成電路制造裝備業(yè),，其成果輻射的帶動(dòng)面很廣。通過利用集成電路裝備技術(shù),，LED照明,、傳感器、光伏等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高,。尤其是LED照明,、光伏等領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵裝備成套國產(chǎn)化，國產(chǎn)裝備成為市場(chǎng)主流,。

葉甜春告訴記者,，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，國產(chǎn)裝備在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)銷售6590臺(tái),。這些裝備的國產(chǎn)化使得我國在LED,、光伏等領(lǐng)域投資成本顯著降低，持續(xù)推動(dòng)我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)整體競(jìng)爭(zhēng)力大幅提升,，LED照明,、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一,，技術(shù)水平也實(shí)現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,，通過集成電路裝備專項(xiàng)成果擴(kuò)展應(yīng)用，公司成為LED,、光伏等泛半導(dǎo)體設(shè)備國際主流供應(yīng)商,，近年來在與本土零部件企業(yè)合作中，大幅提升了國產(chǎn)設(shè)備的性價(jià)比,，在LED,、光伏等領(lǐng)域全面替代進(jìn)口產(chǎn)品，不僅增加了客戶效益,，也為公司帶來了數(shù)十億元的銷售收入,，相關(guān)設(shè)備批量出口美國、印度等國家,。

中國是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),，也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地。葉甜春表示,，面向2020年,，集成電路裝備專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動(dòng)創(chuàng)新成果的規(guī)?；瘧?yīng)用,，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中建立起核心競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展,，形成特色優(yōu)勢(shì),。(經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)中國經(jīng)濟(jì)網(wǎng)記者 杜 芳)